류한열
류한열
소속
인하대학교 (물리학과)
AI요약
인하대학교 물리학과 류한열 교수는 레이저 및 광학 분야의 핵심 연구자입니다. 특히 기판 표면 열처리 기술인 '레이저 어닐 장치 및 방법'과 레이저 광을 정밀하게 제어하는 '광 조향 장치'에 대한 독창적인 특허 기술을 개발하셨습니다. 이러한 연구 성과는 반도체, 디스플레이 등 다양한 첨단 산업 분야의 기술 발전에 크게 기여하며, 학술적 깊이와 산업적 실용성을 겸비한 결과물로 평가받고 있습니다. 류한열 교수의 혁신적인 연구 내용과 전문성을 본 페이지에서 상세히 확인하실 수 있습니다.
기본 정보
연구자 프로필 | ![]() |
연구자 명 | 류한열 |
직책 | 교수 |
이메일 | hanryu@inha.ac.kr |
재직 상태 | 재직 중 |
소속 | 인하대학교 |
부서 학과 | 물리학과 |
사무실 번호 | 0328609200 |
연구실 | - |
연구실 홈페이지 | - |
홈페이지 | - |
경력정보
회사명 | 삼성종합기술원 |
재직기간 | - |
담당업무 | 2003.08 ~ 2008.02 ㅣ 삼성종합기술원 전문연구원 |
회사명 | NTT Basic Research Laboratories |
재직기간 | - |
담당업무 | 2002.07 ~ 2003.07 NTT Basic Research Laboratories Research Associate |
회사명 | 한국과학기술원 |
재직기간 | - |
담당업무 | 2002.03 ~ 2003.07 한국과학기술원 연수연구원 |
중요 키워드
#레이저 가공#광 조향#어닐#반도체 열처리#연속발진 레이저#펄스 레이저#격자 결합기#광센서#기판#광학계#광학 소자#광 통신#광학#레이저#물리학
주요 연구 내용
연구 내용 | [연구 분야] 핵심 분야: 광학 및 레이저 기술 세부 분야: 레이저 어닐링, 광 조향 장치, 반도체 열처리, 광학 소자 [대표 연구 내용] [레이저 어닐 장치 및 방법] 기판 표면의 정밀한 열처리 필요성에 대응하여, 펄스 레이저와 연속발진 레이저를 동시에 조사하는 독자적인 레이저 어닐 장치 및 방법을 개발했습니다. 이 기술은 기존 열처리 방식의 한계를 극복하고, 기판 표면의 열처리 효율성과 정밀도를 획기적으로 향상시킬 수 있습니다. 특히 반도체 및 디스플레이 산업에서 미세 공정의 수율 향상 및 품질 개선에 크게 기여할 잠재력을 가지고 있습니다. [광 조향 장치] 광학 시스템에서 레이저광의 정밀한 방향 제어는 핵심적인 과제입니다. 본 연구는 복수의 격자 결합군을 사용하여 레이저 방사 각도를 자유롭게 변화시킬 수 있는 광 조향 장치를 제안합니다. 각 격자 결합기의 폭과 돌출 주기를 다르게 설계함으로써, 기존 기술 대비 더욱 유연하고 정밀한 광 조향이 가능합니다. 이는 광통신, 광센서, 레이저 가공 등 다양한 분야에서 새로운 응용 가능성을 열어줄 것으로 기대됩니다. |
학력
학력 사항 | 1996.02 한국과학기술원(학사)/물리학과 1998.02 한국과학기술원(석사)/물리학과 2002.02 한국과학기술원(박사)/물리학과 |
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